シリコンウエハ、シリコンウエハ関連サービス Electro-Mechanical Products

ウエハ再生加工

当社では使用済シリコンウエハの再生加工サービスを提供しています。これにより、シリコンウエハの廃棄を減らすことができます。

加工仕上一般仕様

加工対応ウエハ
サイズ
6 inch 8 inch 300mm
加工仕上
パーティクル
サイズ
0.3μm
10個以下
0.2μm
30個以下
0.12μm
100個以下
加工仕上金属汚染
管理値
Al, Cr, Na, K, Ca, Al, Cr, Na, K, Ca, Al, Cr, Na, K, Ca,
Fe, Ni, Cu, Zn Fe, Ni, Cu, Zn Fe, Ni, Cu, Zn
<5E10atoms/cm2 <5E10atoms/cm2 <5E10atoms/cm2

再生加工フローチャート

問い合わせ先

日本ケミコン株式会社 営業推進部 機能材料グループ
住所:〒141-8605 東京都品川区大崎5丁目6番4号
TEL :03-5436-7627
E-mail:ipc-tec@nippon.chemi-con.co.jp